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专利号: CN108401558B
专利授权日期: 2015-01-07
专利申请日期: 2012-12-26
专利名称: 一种零点可调高冲击传感器芯片及其制作方法
专利权人: 北京********大学
专利所属国: CN
专利用途: 减除了设计和配置外围电路的需要,降低了压阻式高冲击传感器电桥平衡电路的复杂性,节省了大量装配空间
行业: 物联网
主分类号: G01P15/12
ipc号: G01P15/12
公开号: CN108401558B
技术应用: 零点可调高冲击传感器芯片
技术点: 系统改进
技术效果: 减除了设计和配置外围电路的需要,降低了压阻式高冲击传感器电桥平衡电路的复杂性,节省了大量装配空间
法律状态更新: 2018-08-14
简单法律状态: 有效
主专利描述
本发明涉及一种零点可调高冲击传感器芯片及其制作方法,属于武器装备测试技术领域。利用表面硅加工工艺,在芯片上加工若干组调零排阻和互连线电路,调零排阻和桥臂电阻串联或并联,实现电桥的零点输出的调节。并且每组内的调零排阻之间通过金丝形成电气互连,金丝在压阻条之间键合,根据需要勾断其中的一部分来控制接入桥路的排阻数量,以控制串入或并入补偿的总体阻值,所需的勾断数量由零点输出的不平衡桥压决定。本发明的芯片级调零,减除了设计和配置外围电路的需要,降低了压阻式高冲击传感器电桥平衡电路的复杂性,节省了大量装配空间,易于加工,操作便捷,大大提高了高冲击传感器的实用性。
同族专利列表9
专利标题专利公开号
压阻传感器的对称电桥测试系... CN101813707A
AC-B≠A电位平衡医用电子舌... CN1385133A
汽车风窗组合式自动遮阳器 CN2668436Y
一种安全电压下的标准碳纤维... CN208386955U
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功率因数自动补偿装置 CN86201355U
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汽车风窗组合式自动遮阳器 CN1550366A
具有片上零偏补偿的压阻式双... CN101692099B
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