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| 专利号： |
CN106508075B |
| 专利授权日期： |
2010-04-14 |
| 专利申请日期： |
2005-10-27 |
| 专利名称： |
热阴极等离子体电子枪 |
| 专利权人： |
核工********究院 |
| 专利所属国： |
CN |
| 专利用途： |
提高发射密度，并能在低真空条件下工作 |
| 行业： |
新能源装备 |
| 主分类号： |
H01J29/48 |
| ipc号： |
H01J29/48 |
| 公开号： |
CN106508075B |
| 技术应用： |
热阴极等离子体电子枪 |
| 技术点： |
取消了轴向磁场 |
| 技术效果： |
提高发射密度，并能在低真空条件下工作 |
| 法律状态更新： |
2017-03-15 |
| 简单法律状态： |
有效 |
-
本发明涉及一种热阴极等离子体电子枪，包括放电系统、电子束引出加速系统、电源系统。放电系统的放电室为一个不锈钢圆筒，作为放电阴极的灯丝通过灯丝支杆设置在放电室内，放电室壁为放电阳极，放电室外围以及灯丝支杆一侧的端盖上分别均匀排列相互会切的永久磁铁；电子束引出加速系统连接在放电室的引出端，引出加速系统的入口端设有引出电极(阳极)，引出电极的前端设有等离子体栅极(阴极)。该发明取消了轴向磁场，可以提高发射密度，并能在低真空条件下工作。
| 专利标题 | 专利公开号 |
| 一种宽束流的条形离子源 |
CN106653529B |
| 一种实现磁控管输出脉冲微波... |
CN105790630B |
| 一种用于离子束刻蚀机的大口... |
CN104362065B |
| 反射式激光-电磁场耦合推力器 |
CN107939625B |
| 一种用于离子束刻蚀机的大口... |
CN104362065A |
| 一种射频偏压供电的磁控溅射... |
CN105655217B |
| 一种射频偏压供电的磁控溅射... |
CN105655217A |
| 一种宽束流的条形离子源 |
CN106653529A |
| 反射式激光‑电磁场耦合推力器 |
CN107939625A |
| 一种生成铝离子束的离子源 |
CN105448630A |
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