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| 专利号： |
CN106134527B |
| 专利授权日期： |
2013-10-30 |
| 专利申请日期： |
2011-12-30 |
| 专利名称： |
一种石英器件复合加热方法 |
| 专利权人： |
中国********究院 |
| 专利所属国： |
CN |
| 专利用途： |
适用于较大尺寸高精度 |
| 行业： |
光学 |
| 主分类号： |
H05B11/00 |
| ipc号： |
H05B11/00 |
| 公开号： |
CN106134527B |
| 技术应用： |
石英器件复合加热方法 |
| 技术点： |
激光源的使用 |
| 技术效果： |
适用于较大尺寸高精度 |
| 法律状态更新： |
2016-11-16 |
| 简单法律状态： |
有效 |
-
本发明提供一种适用于较大尺寸高精度的石英器件复合加热方法，包括的步骤有：①开启激光源，调节激光通过光路照射在石英器件加热区域的光斑，所述光斑半径r＝R-0.9mm×i，其中R为石英器件截面面积的等面积圆半径，i为材料实际热传导率与纯石英热传导率比值；②关闭激光源，将石英器件固定；③开启氢氧焰加热组件加热，使石英器件表面温度缓慢达到T且保持稳定，所述温度T为石英器件材料熔点温度；④开启激光源家人，调节激光源的输出功率为P进行激光加热，所述激光源功率P＝Pth×π×r2，其中Pth为石英器件的材料在该激光波长下的功率密度损伤阈值；⑤加热完毕，关闭激光源与氢氧焰加热组件。
| 专利标题 | 专利公开号 |
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